品牌:泰科诺 | 型号:ZHD300 | 产品别名:电阻蒸发镀膜设备 |
适用行业:高校科研所/企业 | 产品用途:新材料薄膜研究制备 | 是否跨境货源:否 |
适用于大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;
适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接,广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等。
型号 | ZHD300 |
镀膜方式 | 电阻蒸发 |
真空腔室结构 | 玻璃钟罩+不锈钢底座 |
真空腔室尺寸 | Φ300×H360mm |
加热温度 | 室温~250℃ |
旋转基片台 | Φ100mm |
基片台升降 | 无 |
膜厚不均匀性 | 基片台Φ80mm范围内≤±5.0% |
蒸发源 | 2组金属蒸发源 |
控制方式 | PLC+触摸屏控制 |
占地面积 | 主机L1180×W800×H1180mm |
总功率 | ≥5KW |