| 品牌：泰科诺 | 型号：ZHD400 | 产品别名：电阻蒸发镀膜设备 |
| 适用行业：高校科研所/企业 | 产品用途：科研院所机企业进行新薄膜材料的科研与小批量制作 | 是否跨境货源：否 |
1、适用：大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
2、产品特点/用途：
设备一体化设计，占地面积小，价格优惠，性能稳定，使用维护成本低；
设备配备4～6组蒸发源，兼容有机蒸发与无机蒸发，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；
适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；
适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接，广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等。
3、技术参数：
| 型号 | ZHD400 |
| 镀膜方式 | 多源蒸发镀膜 |
| 真空腔室结构 | 立式方形前开门结构 |
| 真空腔室尺寸 | L400×W440×H450mm |
| 加热温度 | 室温～300℃ |
| 旋转基片台 | 120mm×120mm |
| 基片台升降 | 手动调节升降高度0～80mm |
| 膜厚不均匀性 | ≤±5.0% |
| 蒸发源 | 2～3组金属源，2～3组有机源 |
| 控制方式 | PLC/PC自动控制系统可选 |
| 占地面积 | 主机L1750×W850×H1910mm |
| 总功率 | ≥8KW |
